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非接触式测头可以分为几种呢?非接触式测头也可分为一维、二维和三维测头。激光测头通常是一维测头。一维测头一般采用接触式测头的测量方式,对被测工件进行逐点测量,故测量速度较慢,不利于精密量仪向高效率的方向发展;三维测头由于现有的技术和理论限制,其结构复杂,精度也 不高;目前非接触测头的主要发展方向主要是二维测头。光学视觉测头通常是二维测头。
近年来,非接触式测头的研制在世界范围内是精密量仪制造厂家的研究重点。非接触式测量的实现方式有多种,目前应用于实践并产品化的非接触式测头已经为数不少。德国Wolf&Beck的OTM系列光学测头,日本三丰公司的图像测头Mitutoyo QVP,美国普赛(Perceptron)公司的SCANWORKS三维激光扫描测头,比利时METRIS公司的LC系列光学扫描测头,以色列 NEXTEC公司的WIZPROBE激光扫描测头以及德国Zeiss公司的Viscan光学扫描测头,都已广泛应用于精密量仪的非接触测量。 以色列NEXTEC公司的WIZPROBE激光扫描测头采用独特的三角法测量原理,测量精度受材料类型、表面加工形式、激光光柱角度和环境条件影响较小。适用于扫描小型、精密、软轻薄等特殊零件,也可用于覆盖件的扫描。该测头采样频率50点/s,激光光斑直径为30μm,测量范围为 50mm±5mm,测量分辨率1μm,单点精度为6μm,单点重复性可达0.3μm。 美国Perceptron公司的SCANWORKS激光扫描测头采用三角法进行三维测量。当激光投影平面与物体表面相交时,一个CCD照像机得到包含该交线的投影图像,通过准确的标定程序,该交线被转换到三维空间,从而得到被测物体表面的三维值。该测头系统的测量精度为50μm,重复性精度为 20μm。 |
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